用途：該儀器專門(mén)用于硅單晶棒定向測(cè)量，與我公司生產(chǎn)的YX-5Z\6Z及多線切割設(shè)備配套使用，最大特點(diǎn)是，測(cè)量晶向后直接計(jì)算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，并對(duì)偏晶向的要求可進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)算出偏晶向的角度值。
結(jié)構(gòu)：該儀器有X射線控制器、測(cè)角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤(pán)、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強(qiáng)度表等組成。計(jì)算軟件采用國(guó)際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測(cè)量精度±0.008度（±30〃），能夠測(cè)量直徑3～12英寸，長(zhǎng)500㎜，測(cè)量晶面為111、100等。
型號(hào)： YX-6D為單測(cè)角儀,定向計(jì)算。
YX-6DA為單測(cè)角儀，定向計(jì)算，全封閉防護(hù)罩。
主要參數(shù):
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電 源 |
220V 50HZ |
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功 率 |
0.5KV |
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管 電 壓 |
30KVP |
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管 電 流 |
0-5mA |
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晶棒直徑 |
3～12英寸 |
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晶棒長(zhǎng)度 |
500㎜ |
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測(cè)量晶向 |
111、100 |
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定向精度 |
0.008度（±30″） |
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角度顯示 |
以度為單位、最小讀數(shù)0.001度 |
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射線窗口 |
腳踏電磁光閘 |
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計(jì)算角度 |
α與β（X與Y） |
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尺 寸 |
長(zhǎng)830×寬950×高120 |
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重 量 |
260㎏ | |
