YX-9型藍寶石定向粘接設備，主要是針對未切片前的藍寶石晶棒進行定向與粘接，儀器利用專門設計的夾具對晶棒進行X軸與Y軸的調(diào)整，將晶棒偏離的角度定向校準后與料板進行粘接，顯示器為外置式，樣品托板加裝高精度稱重直線軌道，可測量直徑2-6英寸，長50-260mm的晶棒。
技術(shù)參數(shù)：
|
X 射線管 |
銅靶，陽極接地，強迫風冷 |
|
管 電 壓 |
30KVP，全壓合閘 |
|
管 電 流 |
0-5mA，連續(xù)可調(diào) |
|
電源輸入 |
交流220V 不大于0.3KW |
|
綜合精度 |
±30″ |
|
角度數(shù)字顯示 |
θ：度、分、秒顯示，最小讀數(shù)10″ |
|
計數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度 |
2θ角-10°-----+120° |
|
樣品晶體旋轉(zhuǎn)角度 |
θ角-10°-----+60° |
|
計 數(shù) 管 |
蓋革計數(shù)管，工作電壓700---1200V |
|
時 間 常 數(shù) |
0.1、0.4、3秒；3檔可調(diào) |
|
保 護 |
高壓連鎖保護，溫度保護 |
|
狹 縫 |
4′、5′、6′ |
|
測晶體重量 |
最重30KG的晶棒 |
|
測晶體直徑 |
一側(cè)Φ2-------Φ6英寸晶圓片、晶棒 |
|
測晶棒長度 |
另一側(cè)Φ2-------Φ4英寸,260毫米長晶棒 |
|
工 作 位 |
雙測角儀、雙工作臺 |
|
外型尺寸 |
1140×650×1030mm |
|
儀器重量 |
250KG | |
